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设备介绍
GNX300B
l日本OKAMOTO生产
l减薄尺寸:8”~12”
l极限减薄厚度:100um
l转速:0~3600rpm
l最小移动量:1um
l单片误差:10um
l片间误差:±5um
VG502-MKII 8B
l日本OKAMOTO生产
l减薄尺寸:5”~8”
l极限减薄厚度:100um
l转速:0~3600rpm
l最小移动量:1um
l单片误差:10um
l片间误差:±5um
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