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设备介绍
GNX300B
l日本OKAMOTO生产
l减薄尺寸：8”~12”
l极限减薄厚度：100um
l转速：0~3600rpm
l最小移动量：1um
l单片误差：10um内
l片间误差：±5um内
VG502-MKII 8B
l日本OKAMOTO生产
l减薄尺寸：5”~8”
l极限减薄厚度：100um
l转速：0~3600rpm
l最小移动量：1um
l单片误差：10um内
l片间误差：±5um内